2023년은 새 정부의 국정과제를 이행하고, 경제성장을 뒷받침하는 데 방점이 있다고 할 수 있어, 이에 대응한 기업의 연구개발 전략 마련이 요구된다고 할 수 있는 바, 이에 당사에서는 2018년 이후 다섯 번째로, 기업의 효율적인 연구개발 기획과 전략 수립을 지원하고자 국내 주요 정부기관(산하기관)에서 수행하고 있는 연구개발 테마를 종합, 정리 분석하여 ‘2022년 중소중견기업형 유망기술 연구개발 테마 총람’ 시리즈를 발간하게 되었다.
제1편 전기전자/정보통신산업, 제2편 부품소재산업, 제3편 모빌리티(자동차, 로봇, 항공, 철도, 조선), 기계/첨단제조산업, 4편 바이오·의료·나노·농축수산식품, 재난안전산업, 5편 에너지·기후·환경·자원, 국토·건설·교통산업을 발행하게 되었으며, 모쪼록 본서가 산학연에서 연구개발 업무를 수행하고 있는 모든 분께 조금이나마 도움이 되기를 기대해 본다.

Ⅰ. 유망 소재부품 분야 기술 연구개발 테마 19

1. 소재별, 소재부품 기술개발사업 19
1-1. 금속재료 19
1) (총괄) 이차전지 핵심부품용 희소금속의 순환자원화 및 응용기술 개발 19
2) (1세부) 유기산 사용 친환경 침출공정 개발 및 폐수 무방류 공정개발을 통한
이차전지용 소재 연간 1,000톤급 제조 공정 기술 개발 21
3) (2세부) 이차전지 스크랩 블랙파우더로부터 친환경 신공법을 활용한 순도 99% 이상
리튬계 양극재 원료 2kg/batch급 제조기술 개발 23
4) (3세부) 100% 재활용 희소금속을 활용한 방전용량 180mAh/g 이상의 고용량
리튬이차전지 양극재 제조기술개발 24
5) (총괄) 귀금속 저감 희소금속(Ni, Co, Pt) 소재 제조 및 촉매/전극 부품화 기술 개발 26
6) (1세부) 귀금속 저감/대체 기반 3N급 희소금속 회수 및 20kg/day급 고활성·고내구
촉매 분말 제조기술 개발 28
7) (2세부) 수소생산을 위한 2.5kW급 폐알칼리 AEM 수전해용 고성능 촉매전극 및 부품화
기술 개발 30
8) (3세부) 백금사용 40% 저감 가능 연료전지용 다중코팅 적용 전극 및 MEA 부품화
기술 개발 32
1-2. 세라믹 34
1) (총괄) 전기차 고전력 파워모듈용 작동온도범위 200℃ 이상 적용을 위한 질화규소
소재 및 방열기판 제조 기술개발 34
2) (1세부) 전기차 고전력 파워모듈 방열기판(90W/m·K 이상)용 질화규소 분말 국산화
기술개발 36
3) (2세부) 전기차 고전력 파워모듈용 열전도도 90W/m·K 이상 대면적 질화규소
방열기판 제조 기술개발 38
4) (3세부) 전기차 고전력 파워모듈용 질화규소 AMB(Active Metal Brazing) 회로기판
제조 기술개발 40
1-3. 섬유 42
1) (총괄) 유해환경 정화용 초극세 섬유집합체 제조 및 응용 기술개발 42
2) (1세부) 고강도 세섬화 스펀본드 부직포 및 응용제품 개발 43
3) (2세부) 고투과유속 중공사형 역삼투막 및 직수형 수처리 모듈 개발 44
4) 인공섬모 기반의 세정·재사용 가능한 H13급 공기정화용 필터 개발 46
1-4. 화학 47
1) (총괄) 초미세/고집적 소자의 핸들링 및 패키징 공정용 소재 기술 개발 47
2) (1세부) Micro-LED의 초고속/고정밀 전사 정렬이 가능한 가변물성 점·접착소재 및
공정기술 개발 49
3) (2세부) 고탄성/가변구조 구현이 가능한 micro-LED 패키지용 repairable 점?접착소재
및 공정기술 개발 52
4) (3세부) 50㎛ 이하 Fine Pitch용 반도체 언더필 소재 및 패키징 기술 개발 54
5) (4세부) 고성능 반도체 열관리를 위한 정밀 제어 BLT(방열/진동 및 충격저항) 실리콘
복합소재(시트, 페이스트) 제조 기술 개발 56
6) (총괄) 고기능성 유연 필름 및 고투과도 광학 소재 개발 58
7) (1세부) 0.1% 이하 저농도 수소 감지용 유연 필름 및 공정기술 개발 60
8) (2세부) 폴더블 기기용 GPa급 나노복합 광학필름소재 기술 개발 62
9) (3세부) 주간 시인성 및 운전자 편의성 확보를 위한 10인치급 차량용 AR HUD용
광학 부품 및 시스템 기술 개발 64
1-5. 고온 초전도 마그넷 66
1) 고온초전도 자석의 공통 기반기술 개발 66
2) 고온초전도 자석 다중물리 통합 설계 기반기술 개발 69
3) 고성능 고온초전도 자석용 선재의 기반기술 개발 73
4) 초고자기장 고균일 솔레노이드형 고온초전도 자석의 핵심기술 개발 76
5) 대전류 토로이드형 고온초전도 자석의 핵심기술 개발 79
6) 고성능 고온초전도 레이스트랙 코일 핵심기술 개발 82
7) 고속 충방전 새들/위글러형 고온초전도 자석의 핵심기술 개발 84
1-6. 탄소, 탄소나노 88
1) (총괄) 폐탄소자원 기반 이차전지용 음극소재 제조기술 개발 88
2) (1세부) 폐탄소자원 기반 이차전지 음극재용 고순도 인조흑연 제조기술 개발 89
3) (2세부) 폐탄소자원 기반 인조흑연을 이용한 고용량 이차전지 전극 제조기술 개발 91
4) 고용량 이차전지용 실리콘/그래핀 복합음극재 개발 92
5) 결함치유 그래핀 소재 기반 웨어러블 진단센서 및 그래핀 기반 바이오 융합 필름 94
6) 급속 충전용 리튬이온기반 전지의 기능성 탄소계 박막 복합 분리막 소재 개발 95
7) 항균용 나노섬유 기반 유기-무기 나노복합체 개발 96
8) 지능형 IoT 센서용 대면적 2차원소재 개발 98
9) 연속 상시 모니터링용 저전력 혈중산소포화도/심박 센서 개발 100
10) 수처리용 귀금속 대체 저가격 전기촉매 개발 102
11) 반도체·이차전지용 고품질 인조흑연 테스트베드 구축 및 전문기업 사업화 지원 103
2. 부품별, 소재부품 기술개발사업 106
2-1. 디스플레이 106
1) (총괄) IT 디스플레이를 위한 8세대 기판용 고밀도 플라즈마 CVD 증착 시스템 개발 106
2) (1세부) 8세대 플라즈마 CVD용 고밀도 플라즈마 소스 기술개발 108
3) (2세부) 8세대 고밀도 플라즈마 CVD용 상·하부 모듈 기술 개발 110
4) (3세부) IT 디스플레이의 LTPO용 절연막 증착을 위한 고밀도 플라즈마 CVD 증착
시스템 및 공정기술 개발 112
5) OLED 청색인광소재의 고효율 및 장수명 발광소재 개발 114
6) 디스플레이용 잉크젯 공정기반 양자점 색변환소재 개발 116
2-2. 시스템 반도체 118
1) (총괄) Sc-AIN 소재 기반 핵심부품 기술개발 118
2) (1세부) E-GMP 배터리팩 SoC/SoH 검출 및 고장 진단용 Sc-AlN 소재 및 음향센서
기술 개발 120
3) (2세부) 초음파 센서 기반 자동차 배터리팩 내부 상태 감지 모듈 개발 121
4) (3세부) 자동차 고장 진단용 압전 MEMS 마이크로폰 및 센서 모듈 개발 122
2-3. 화합물 반도체 123
1) 초고주파 대역 송수신기 모듈을 위한 통신소자 및 집적회로 기술 개발 123
2) 질화물반도체 기반 1200V급 전력소자 제작을 위한 핵심 원천기술 및 모듈 집적화
기술 개발 125
3) 스마트 IoT 산업 수요 대응 InGaAs 기반 고성능 SWIR 센서 기술 개발 128
4) III-V 에피소재 기반 우주용 고효율 다중접합 태양전지 제작기술 개발 133
2-4. 반도체 공정 135
1) (총괄) EUV Mask 결함 검출 및 분석 모듈이 적용된 마스크 리페어 자동화 장비
기술 개발 135
2) (1세부) EUV Mask 결함 자동 계측 및 분석 기반의 AFM 자동 리페어 시스템 개발 136
3) (2세부) EUV Mask 자동 결함 분석을 위한 광학 기술 및 요소 기술 개발 138
2-5. 뿌리기술 140
1) (총괄) 고진공 알루미늄 다이캐스팅 적용 경량화율 30% 이상 랙하우징 일체 I-형
프런트 서브프레임 부품화 기술 개발 140
2) (1세부) 고진공 다이캐스팅용 3.0 GPa%급 알루미늄 소재 및 주조 해석 기술 개발 141
3) (2세부) 랙하우징 일체 I-형 프런트 서브프레임 부품화를 위한 진공도 70mbar 이하
고진공 다이캐스팅 공정 및 금형 기술 개발 143
4) (3세부) 경량화율 30% 이상 랙하우징 일체 I-형 프런트 서브프레임 설계 및 신뢰성 평가 144

3. 수요처별, 소재부품 기술개발사업 146
3-1. 조선해양 146
1) (총괄) 선박용 액체수소 화물창 전용 소재 개발 및 기자재 운용/검증기술 개발 146
2) (1세부) 액체수소 화물창 극저온 소재 개발 148
3) (2세부) 액체수소 화물창 Mock-up 설계?제작 및 소재?기자재 적용 기술 150
4) (3세부) 선박 운항환경 및 화물창 운용조건 하 Mock-up 성능 검증 152
5) (총괄) 3000톤급 선박 전기 추진시스템 핵심 소재 및 부품 기술 개발 154
6) (1세부) 선박 추진용 대용량 영구자석 전동기 핵심 소재부품 국산화 개발 156
7) (2세부) 선박 추진용 2MW급 영구자석형 동기전동기 및 드라이브 유닛 개발 157
3-2. 전기수소차 159
1) (총괄) 그린카 전력변환장치용 커패시터 박막필름 및 적용/검증기술 개발 159
2) (1세부) 고내구 필름 커패시터용 고내열 박막 필름 및 몰딩소재 기술 개발 160
3) (2세부) 그린카 전력변환장치용 고내구 필름 커패시터 개발 162
4) (3세부) 필름 커패시터의 xEV 전력변환장치 적용성 평가/검증기술 개발 163
3-3. 민군(방위산업) 165
1) (총괄) 차륜형장갑차 수소연료전지 및 전동화 추진시스템 적용기술 개발 165
2) (1세부) 차륜형장갑차 전동화플랫폼 통합설계 및 입증시험 개발 166
3) (2세부) 차륜형장갑차용 수소연료전지 기반 동력원 개발 168
4) (3세부) 차륜형장갑차용 전동화 추진시스템 개발 169
3-4. 항공 171
1) (총괄) eVTOL 이착륙 유도장치용 파장제어 필터 및 고시인 지능형 등화장치 개발 171
2) (1세부) 파장제어용 광학필터 및 등화장치용 광원 모듈 개발 173
3) (2세부) eVTOL 버티포트의 고시인 지능형 등화장치 시스템 개발 175
4) 국방무인기, 5000lbf급 항공엔진 소재물성 및 설계허용치 데이터베이스 구축 177
3-5. 에너지(배터리) 179
1) 친환경 공정 기반 대면적 페로브스카이트 태양전지 개발 179
2) 초고효율 탠덤(다중접합)용 페로브스카이트 태양전지 요소기술 개발 182
3) 고효율 대면적 초경량·유연 무독성 CIGS 박막 태양전지 기술개발 186
4) 수송용 연료전지 MEA 핵심 요소기술 고도화 190
5) 건물용 연료전지 핵심 원천 기술 개발 194
6) (총괄) 친환경 고효율 연료전지용 핵심 소재부품 개발 198
7) (1세부) 건물용 PEMFC용 고성능, 장수명 막전극접합체(MEA) 개발 200
8) (2세부) 20kW SOFC 시스템용 일체형 개질기 개발 202
9) (3세부) 650℃ 이하 구동이 가능한 고강도 고내구성 SOFC 셀 개발 203
10) 고에너지밀도 전고체전지 핵심 원천기술 개발 205
11) 리튬금속 기반 차세대 고에너지밀도 금속-공기 전지 고도화 요소기술 개발 208


Ⅱ. AIㆍ지능형 반도체, 전자부품용 소재 기술 연구테마 213

1. AIㆍ지능형 반도체 기술 분야 213
1-1. AI 반도체 기술 213
1) DRAM 기반 고성능 PIM 메모리 반도체 기술 개발 213
2) 엣지용 연산기능강화 DRAM PIM 반도체 기술 개발 216
3) 1T-1C 셀 기반 고대역 비트별 연산을 위한 DRAM PIM 구조 및 혼성 모드 회로 개발 220
4) 페타플롭스급 성능 기가바이트급 메모리 융합 초고성능 PIM 프로세서 반도체 개발 223
5) 메모리 일관성을 고려한 다중 DRAM 모듈용 CXL 기반 PIM 반도체 기술 개발 227
6) 엣지용 분산형 온칩메모리-연산기 융합 PIM 반도체 기술개발 231
7) 초저전력 Low-Bit Precision 혼성모드 SRAM PIM 개발 234
8) 저전력 신경망 가속기 구현을 위한 eMRAM PIM 기술 개발 236
9) 데이터 플로우 구조 기반 PIM의 실행 및 프로그래밍 모델 개발 240
10) 재구성형 PIM 디바이스 기반의 Memory-Centric 아키텍처 개발 244
11) NVM 기반 PIM 반도체 컴퓨팅을 위한 논리합성 SW 개발 247
12) (총괄·세부1) PIM 반도체 설계연구센터 251
13) (세부2) DRAM PIM 설계 기반 기술개발 254
14) (세부3) PIM 고속 데이터 송수신을 위한 지능형 PHY 인터페이스 기술 개발 257
15) (총괄·세부1) 자율주행 레벨4급의 기능안전성 자율주행 인공지능 컴퓨팅 모듈 개발 260
16) (세부2) 자율주행 레벨4급의 기능안전성 인공지능 반도체 개발 264
17) 동적 환경변화에 적응가능한 강화학습기반의 인공지능프로세서 개발 268
18) 인공지능 반도체 개발을 위한 개방형 개발환경 플랫폼 개발 271
19) 고화질 영상센서와 DVS 대응 가능한 인공지능 반도체 개발 275
20) 스마트시티를 위한 차세대 CCTV(영상보안)용 인공지능반도체 개발 279
21) 포인트 클라우드 딥러닝 기반 고정밀·실시간 3차원 객체·상황인지 반도체 개발 280
22) 인공지능 반도체 조기 상용화를 위한 응용기술개발(3개 과제 선정) 282
23) PIM 특화 신구조 소자, 회로, 아키텍처 개발 284
24) 저항변화 메모리(ReRAM) 기반 PIM 소자, 구동회로 및 아키텍쳐 개발 286
25) 상변화 메모리(PRAM) 기반 PIM 소자, 구동회로 및 아키텍쳐 개발 288
26) 강유전체 메모리(FeRAM) 기반 PIM 소자, 구동회로 및 아키텍쳐 개발 290
27) 자기 메모리(MRAM) 기반 PIM 소자, 구동회로 및 아키텍쳐 개발 292
28) PIM 반도체를 위한 고성능·대면적 2.5D 및 3D 이종집적 공정 플랫폼 및 검증기술
개발 294
1-2. 차세대 지능형 반도체 기술 297
1) 초저전력을 위한 신개념 스핀로직 연산소자 기술 297
2) 차세대 채널 적층형 GAA 트랜지스터 핵심기술 개발 및 검증 298
3) 신소재를 활용한 다치 로직 소자 원천 기술 및 응용 회로 기술 개발 301
4) 3차원 DRAM 집적화를 위한 구조 및 원천기술 개발(경쟁형 과제) 303
5) CMOS 배선 융합 고집적 NEM 연상형 메모리-증대 신경망 네트워크 개발 306
6) 양/음이온 동시 제어 고신뢰성 멤리스터 및 선택소자 기능을 포함한 크로스바 어레이
개발 308
7) 실리콘 공정 기반의 시냅스-뉴런 인-플레인 집적시스템 310
8) 멀티 스케일 시뮬레이션을 이용한 ReRAM CBA 회로 기반 차세대 인공지능 반도체
설계 원천기술 개발 312
9) 칩렛향 이종집적 패키지의 전력무결성 및 열기계적 무결성 검증 연구 315
10) Si-CMOS와 III-V 반도체를 이용한 고성능 High connectivity 이종 집적회로
원천기술 개발 318
11) Non-Si 기반 시냅스 및 Si 기반 구동회로의 이종 집적 시스템 개발 321

2. 전자부품(반도체, 디스플레이, 산업융합) 분야 기술 323
2-1. 시스템반도체 기술 323
1) 범용 중소형TFT LCD패널용 16.7M color지원 통합형 SoC Driver IC개발 323
2) 대화면 TV용 Mini-LED 구동 IC 및 Dimming controller SoC 개발 325
3) 통합형 전자발열 PMIC 개발 326
4) 차세대 시스템반도체 설계?소자?공정 328
5) 뇌 신경망 기반 초미세 상호 전달 신호 센싱용 SoC 개발 335
6) 배터리 셀의 개별 제어가 가능한 True-Wireless BMS 칩셋 개발 336
7) AI 기반 영상변화량 추적이 가능한 동적 비전 센서용 영상처리 SoC 개발 338
8) 헬스케어를 위한 비접촉 다중 생체신호 검출 SoC 개발 340
9) 차세대 반도체 적용을 위한 Si, SiGe 단일 및 적층 에피택시 박막 성장용 공정 장비
개발 341
10) 고밀도 플라즈마 소스 이용한 고생산성 Hard Mask PR Strip 장비 344
11) 식각 공정용 초저온 웨이퍼 서셉터 시스템 개발 346
12) 차세대 자동차용 핵심 Analog IP SET 기술개발 348
13) 차량용 대용량 데이터 전송을 위한 고속 장거리 인터페이스 IP 및 반도체 개발 349
2-2. 디스플레이 기술 351
1) 초고해상도를 구현을 위한 OLED 디스플레이용 메타 표면 구조 설계·제조 기술 개발 351
2) 고효율 삼중항 수확 방식의 장수명 청색발광 소재 및 소자 원천기술 개발 353
3) OLED 소자의 여기자 거동 직접분석법과 이를 기반으로 하는 소자수명 향상 기술 개발 356
4) 고신뢰성 발광 섬유 직조형 웨어러블 디스플레이 기술 개발 358
5) 자체발광 소자의 비접촉식 전계발광 방식의 검사장비 기술개발 360
6) 자유 곡면 디스플레이 구동 모듈 복원(Rework) 기술 및 장비 개발 362
2-3. 주력산업 IT융합 기술 364
1) 24시간 유무인 생산체계를 위한 산업용 IoT기반 경량 제조시스템 기술개발 364
2) 공정 상황별 운영 최적화를 지원하는 AI 기반의 제조공정물류 최적화 기술개발 366
3) 지능형 수광센서를 활용한 초정밀 레이저 공정 실시간 모니터링 기술개발 368
4) 분산된 산업 데이터의 연합학습을 위한 데이터 트리 구축방안 연구 370

Ⅲ. 상용표준물질, 나노소재 기술 연구개발 테마 375

1. 상용표준물질개발ㆍ보급사업 375
1-1. 화학바이오 375
1) (총괄) 화학·바이오분야 상용표준물질개발보급사업 375
2) (1-1세부) 의류산업 신 규제 대응 프탈레이트 상용표준물질 개발 376
3) (1-2세부) 브롬계 난연제 HBCDD(Hexabromocyclododecane) 분석용 EPS 378
4) (1-3세부) 화학섬유재료의 발암성 아조염료 분석용 상용표준물질 개발 및 보급 379
5) (1-4세부) 개인용 혈당측정시스템 중간측정정밀도(ISO 15197) 시험을 위한 비혈청
기반 Glucose 상용표준물질 개발 및 보급 380
6) (1-5세부) NMR을 활용한 정량분석을 위한 내부표준물질용 인증표준물질 개발 382
7) (1-6세부) 가죽 소재의 디메틸푸마레이트 함량 분석용 상용표준물질 개발 및 보급 383
8) (1-7세부) 화장품 안전성 평가를 위한 스테로이드류 상용표준물질의 개발 384
9) (1-8세부) 열분해기반 미세플라스틱 질량분석용 다성분 미세플라스틱 상용표준물질
개발 386
10) (1-9세부) 대장암 체외 진단용 키트 개발 및 정도관리를 위한 CEA 항원 항체 표준
물질 개발 387
11) (1-10세부) 감염관리 및 멸균 효과 검증을 위한 ISO 11138-3 고압증기멸균기용
생물학적 표시기(BI) 상용표준물질 개발 및 보급 389
12) (1-11세부) 생분해도 및 생붕괴도 평가를 위한 균질성 및 안정성이 확보된 표준퇴비
(접종원) 개발 390
13) (1-12세부) 식육 중 퀴놀론계 항생제 표준물질 개발 392
14) (1-13세부) 의료기기 이식시험(ISO 10993-6)용 상용표준물질 4종 개발 및 보급 393
1-2. 전기전자·세라믹 395
1) (총괄) 전기전자·세라믹분야 상용표준물질개발보급사업 395
2) (2-1세부) 반도체 배리어 메탈용 나노급 TiN 및 TaN 박막 두께 표준물질 개발 및 보급 396
3) (2-2세부) 반도체용 초순수 및 전해질 교정·시험용 액상 전기전도도 인증표준물질 개발 398
4) (2-3세부) 내화물의 내화도 측정을 위한 표준물질 개발 399
5) (2-4세부) 차세대 상변화 메모리소재용 Ge2Sb2Te5 박막 두께 표준물질 개발 및 보급 401
6) (2-5세부) 입자크기 및 입자형상 분석용 세라믹 입자 표준물질 개발 402
7) (2-6세부) 이차전지 분리막 코팅용 나노급 산화알루미늄 화학조성 표준물질 개발 404
8) (2-7세부) 이차전지 전극용 SWCNT 도전재 분산액 표준물질 개발 및 보급 405
9) (2-8세부) 반도체·디스플레이 제조공정제어 광측정장비 교정을 위한 질화규소
박막두께 인증표준물질 개발 406
10) (2-9세부) 적층제조용 지르코니아 슬러리의 고형물 함량 평가 및 화학조성 분석을
위한 표준물질 개발 및 보급 408
11) (2-10세부) Silicon wafer 및 ITO 면저항 인증표준물질 개발 및 보급 410
12) (2-11세부) 전자산업 폐수 분석용 콜로이달 실리카 표준물질 개발 412
13) (2-12세부) 밀리미터파 대역 고체 유전율 및 고주파 대역 액체 유전율 분석용 인증
표준물질 개발 및 보급 414
1-3. 기계·소재·에너지 416
1) (총괄) 기계·소재·에너지 분야 상용표준물질개발보급사업 416
2) (3-1세부) 반도체 공정용 5N급 고순도 Cu 및 CuP 합금 상용표준물질 개발 및 보급 417
3) (3-2세부) 금속재료 로크웰 경도 측정용 상용표준물질 개발 및 보급 419
4) (3-3세부) 첨단산업 및 운송기기용 경량 알루미늄 합금 상용표준물질 개발 및 보급 420
5) (3-4세부) 반도체 접합용 Au-Pd-Cu 와이어 소재의 화학분석 상용표준물질 개발 및
보급 422
6) (3-5세부) 전해식 도금 두께 측정용 상용표준물질 개발 및 보급 423
7) (3-6세부) 에너지 기기용 철강소재의 C/S, N/O 분석을 위한 상용표준물질 개발 및
보급 425
8) (3-7세부) 이차전지 양극재 첨가제용 지르코니아 및 산화텅스텐 상용표준물질 개발
및 보급 426
9) (3-8세부) 고분자 전해질 연료전지 촉매용 이성분계 백금합금 상용표준물질 개발 및
보급 428
10) (3-9세부) 폐배터리 재활용 양극소재 평가용 상용표준물질 개발 및 보급 430
11) (3-10세부) 반도체 high-K 박막 ALD(atomic layer deposition) 공정용 고순도
전구체 상용표준물질 개발 431
12) (3-11세부) 탄소중립 실현을 위한 자원순환 및 도시광산용 자동차 페촉매 상용표준물질
개발 433
13) (3-12세부) 반도체 공정용 CMP(Chemical mechanical planarization) 슬러리 연마재
상용표준물질 개발 434

2. 나노 소재, 융합 기술분야 436
2-1. 나노 및 소재 기술개발 436
1) 극한환경 구동 반도체용 단결정 다이아몬드 기판소재 개발 436
2) 멤리스터용 3D 인공결정립 제어 나노복합소재 개발 439
3) 혈관질환 치료용 체내 삽입형 생체분해성 금속 또는 금속 하이브리드 소재 개발 442
4) 항공기 가스터빈 엔진용 경량 고온 고분자 기반 탄소복합소재 개발 445
5) 메모리-로직 소자용 투명 강자성 박막소재 개발 448
6) 초고온 극한환경용 고강도 고인성 금속복합소재 개발 451
7) 능동 열제어 시스템을 위한 고성능 광대역 열전소재 개발 454
8) 저온 작동(〈650℃) 직접 암모니아 연료전지용(SOFC) 나노 촉매소재 및 연료전지
기술 개발 457
9) 나노기술 기반 신소재 양자물성 연구 460
10) 리얼 메타버스 구현을 위한 다중 센서·액츄에이터 소자 개발 462
11) 대면적 고종횡비 3차원 나노패터닝 공정 플랫폼 개발 464
12) 초고방열 절연성 복합 소재 개발 466
13) 적외선(IR) 대역 방사율 제어 유무기 신소재 개발 468
14) 폐플라스틱 자동 선별을 위한 적외선(1.0-3.4㎛) 분광 센서 어레이 및 광학 모듈
기술 개발 471
15) 실시간 금속 응고 및 상변태 이미징 기술을 활용한 고특성 합금 개발 474
16) 유연 초고속 무선 광통신용 유기반도체 소자 기술 477
17) 고감도 근ㆍ단적외선 (1-3μm) 양자점 소재 및 이미지 센서 개발 480
18) 1.4 eV 이하의 밴드갭을 갖는 저온 공정(〈250℃) 기반 고효율 박막형 태양전지
소재 및 소자 개발 483
19) 나노소재 기반 차세대 항암 원천기술 486
20) 고내구성 항바이러스/항균 친환경 고분자 복합 소재 개발 489
21) 고주파 필터용 6인치급 LiTaO3 단결정 성장 및 이종접합 기술개발 491
22) 전(全)진공 공정(all vacuum process) EUV 리소그래피용 레지스트 소재 및 공정
기술 개발 494
23) 열관리시스템 및 방사선 차폐용 고성능·다기능 알루미늄 복합소재 개발 497
24) 고감도, 고신뢰성, 광대역 수소 감지용 복합소재 및 모듈화 기술개발 501
25) 질화물계 광·전자 반도체 제조용 2차원 분리막 및 기판기술 개발 504
26) 고성능 압전식 MEMS 마이크로폰 소재 및 소자 원천기술 개발 506
27) 적층성형 공정을 적용한 가스터빈 부품용 희소금속 저감 내열소재 개발 508
28) 전기자동차 파워모듈용 고내구성 질화물계 방열 소재 및 이종소재 접합기술 개발 513
29) 에너지 저장용 가역 수소저장합금 원천기술 개발 516
30) 차세대 모빌리티용 2D 반도체 무기소재 기술 개발 518
2-2. 나노융합혁신 기술 분야 521
1) (총괄) 나노결정립 자성소재기반 고효율 전력구동 및 전력변환 유닛 개발 521
2) (1세부) 나노조직제어로 개선된 260W/kg 이상 고출력 소형화 조향 모터 기술개발 523
3) (2세부) 나노결정질소재 기반 11kW급 전력변환소자 제조 기술개발 524
4) (총괄) 저가 고내구성 백금합금계 나노촉매 기반 연료전지 모듈 525
5) (1세부) MEA 백금사용량 0.2g/kW 이하 백금합금 나노촉매 생산기반 수소전기차
연료전지 모듈 기술개발 526
6) (2세부) 300kg/월 이상 대량 생산 백금합금 나노촉매 기반 발전용 PAFC 전극 기술
개발 528
7) 나노융합 혁신제품 기술개발 R&D협력단 529
8) 고결정 Graphitic 구조 기반 고효율 고성능 수전해 촉매 기술개발 530
9) 반도체 패키지레벨 전자파차폐를 위한 맥스 및 맥신 소재 대량생산 기술개발 532
10) 촉각 인터페이스가 구현된 디스플레이 기술개발 533
11) 친환경 고효율 합성 및 구조제어기술을 통한 그래핀 복합소재 기반 수직방향
방열필름 기술개발 534
2-3. 나노제품 성능·안전 평가기술 535
1) 나노제품 내 나노물질의 생체거동 평가법 개발 535
2) 나노소재가 적용된 접합소재의 수명안정성 평가기술 개발 536
3) 나노 자속고정점이 도입된 나노 제품의 사용 환경에서의 신뢰성 시험 평가법 개발 537

Ⅳ. 첨단 제조기술 및 장비산업 연구개발 테마 541

1. 첨단장비, 첨단기계 기술 분야 541
1-1. 기계산업핵심기술개발사업(첨단장비) 541
1) 10nm급 STI Gap Fill 방식을 적용한 어닐링 장비 시스템 개발 541
2) 고종횡비 Micro Copper Pins 고속 마운팅 및 접합 시스템 개발 543
3) 곡면 입체형상을 갖는 다품종 맞춤형 SiP 패키징 다축 조립시스템 개발 545
4) Fanout 반도체 PR 패턴 고속 자동 검사장비 개발 548
5) 수소압력용기용 연속 브레이딩 장비 개발 550
6) 전기차 배터리 셀 형상별 혼류 생산을 위한 배터리 모듈/팩 스마트 조립 장비 개발 552
7) (총괄) 자율주행 차량용 카메라 광축정렬 및 검증 시스템 개발 554
8) (1세부) 자율주행 차량용 센싱 카메라 광축 정렬 및 패키징 시스템 개발 556
9) (2세부) 자율주행 차량용 카메라 보정 및 인식 정밀도 검증 시스템 개발 558
10) 일회용 바이오리액터 자동화 시스템 개발 560
11) 제약 공정용 액체 크로마토그래프 정제시스템 개발 562
12) 초극세 나노섬유와 Melt Blown 일체형 복합 부직포 롤투롤 연속 생산 장비 개발 564
13) 나노광소자 패터닝용 30nm급 인라인 UV 나노임프린터 개발 566
14) 마찰교반용접/머시닝 하이브리드 가공시스템 개발 568
15) 프레스 성형품질 제어를 위한 다점 수치제어 다이쿠션 및 공정 모니터링 모듈 개발 570
16) 600mm급 대면적 FO-PLP 기판의 지능형 연삭시스템 개발 572
17) 이차전지 소재제조를 위한 멀티코터 방식 지능형 롤투롤 코팅시스템 개발 574
18) 고품질 압연 철강재 생산을 위한 에너지 절감형 저압분사식 스카핑 장비 개발 576
19) 고속·고품질 고온액상성형(RTM) 공정용 프리폼 제조 워크셀 개발 578
20) 공작기계 운영 에너지 효율화를 위한 에너지 소비 평가기술 실증 580
21) 제조공정 미활용 열에너지 회수용 열전발전 시스템 실증 582
22) 프레스 금형 제작용 복합재료 대면적 적층 가공 장비 실증 584
23) kW급 적외선 광섬유 레이저 기반의 레이저-워터젯 가공 기술 실증 586
24) 극한 환경에서 디바이스 개별 제어가 가능한 AP/CPU용 메모리 실장 테스트 장비
실증 588
25) 단섬유 저중량 부직포 필터 생산용 크로스래퍼 실증 590
26) 실시간 품질인식 능동제어 텐터 가공기 실증 592
27) 알루미늄 배터리팩 케이스 생산용 지능형 아크 용접 로봇 시스템 실증 594
28) 친환경자동차 구동모터 헤어핀 스테이터 고정밀 자동 성형 장비 실증 596
29) 개인 맞춤형 바이오 제품 생산을 위한 유연제조 공정시스템 실증 598
30) 출고 원단 이송 및 창고 적재 작업이 동시 가능한 통합 시스템 실증 600
31) 제조현장의 장비-로봇 연동가능한 국산 제어기(PLC)의 통합 모델 실증 602
1-2. 기계산업핵심기술개발사업(첨단기계) 604
1) 건설·산업기계용 300kW급 탄소제로 수소 엔진 핵심부품 및 시스템 개발 604
2) 순수전기 구동이 가능한 75마력급 산업기계용 플러그인 하이브리드 시스템 개발 606
3) 토석운반 자동화와 트럭 협업을 위한 휠로더용 자율작업 및 운영시스템 기술 개발 608
4) 스마트건설 대응을 위한 토공 건설기계용 원격제어시스템 및 기술 개발 610
5) 지능형 안전관리 시스템이 적용된 150톤급 크롤러크레인 개발 613
6) 건설현장용 10kW급 탄소제로 이동형 저압 메탈하이드라이드 수소연료전지 전력공급
장치 개발 615
7) 무선ㆍ다중ㆍ초정밀 동기제어가 가능한 최대 작업중량 5톤급 스마트 모바일 리프트 개발 617
8) (총괄) 밭 농업 솔루션용 농기계 및 스마트 운용시스템 개발 620
9) (1세부) 밭 농업 전주기 작업이 가능한 전기구동 기반의 가변형 농기계 플랫폼 개발 622
10) (2세부) 밭 농업에 전주기 적용 가능한 다양한 작업기 모듈 개발 및 실증 624
11) (3세부) 농기계 레벨3 자율주행 및 관제 기술 개발 626
12) (4세부) 생육 모니터링 및 스마트 농업 운용시스템 개발 628
13) 가축분뇨 자원화를 위한 IoT 기반 500kg/day급 퇴비 자동 생산 및 악취 제거
시스템 개발 630
14) 350kW급 160℃ 증기(steam) 생산용 무급유 원심식 히트펌프 개발 632
15) 복합폐열원을 이용한 염색공정수 가열용 35kW급 히트펌프시스템 개발 635
16) EV 폐전지 Recycle 공정용 함수율 1.5% 용량 100kg급 히트펌프 감압 유동층
건조기 개발 637
2. 주력산업 대응 뿌리 기술, 3D프린팅(적층제조) 기술 분야 640
2-1. 주력산업 대응 뿌리 기술분야(주조, 금형, 용접, 열처리) 640
1) 열처리 잔류응력 50% 저감 100KW급 수소전기자동차용 복잡형상 Enclosure stack
고강도화 제조 기술개발 640
2) 인장강도 400MPa, 연신율 8%급 비열처리형 Al계 합금과 고진공 다이캐스팅 공정
기술을 적용한 일체형 크로스멤버 제조 기술개발 642
3) 3-in-1(모터-인버터-감속기) 일체형 전기차 모터 하우징(300kW급) 정밀 고압주조
기술개발 644
4) 자동차 디스플레이 모듈용 기능성 필름의 정밀 타발을 위한 양각 로터리 금형 시스템
기술개발 646
5) 전기차 배터리 하우징 금형 설계 및 고생산성 성형 기술개발 648
6) 700mm급 대형 Panel 용 EMC 패키징 Hybrid 금형 기술개발 650
7) 8kgf/25mm급 접합강도의 제진소재(LDS : Laminated Damping Sheet) 활용 전기차
전용 충전기/모터 커버 금형 및 성형 기술개발 652
8) 디지털 라이트닝 모듈용 R100㎛, Ra20nm급 초미세 Light Guide 모듈 금형성형기술
개발 654
9) 1.5GPa급 초고강도 친환경차 충돌안전 부품의 품질편차 저감을 위한 실시간 지능형
금형제어 프레스 성형 기술개발 656
10) 굴삭기용 슬루잉 베어링 모듈의 일체형 형상 링 압연 기술개발 658
11) 난성형 경량소재 단조기술 기반 수소전기차 공기압축기용 120,000rpm급 고강도,
저절삭 임펠러 제조 기술개발 660
12) 모바일 제품용 반도체패키지 접합부의 내충격 특성 향상을 위한 고신뢰성 보드레벨
접합부 형성 리플로우 솔더링 공정 기술개발 662
13) 자동차 램프 적용을 위한 금형 일체형 레이저 동시조사 플라스틱 접합 시스템
기술개발 664
14) 박리강도 14N/cm급 FPCB를 적용한 전기차 배터리모듈용 일체형 센싱어셈블리
기술개발 666
15) 자동차 서브프레임 부품 경량화를 위한 고효율 알루미늄 레이저 하이브리드 용접
기술개발 668
16) 극저온 수소 저장 및 운송용 스테인리스강의 내식성 향상 150% 구현을 위한 친환경
Bath-free 표면처리 기술개발 670
17) 고품질 실리콘 코팅 폴리에스터 이형 필름 제조 기술개발 672
18) 3D 입체형상 일체형 자동차 터치모듈용 자기유도 표면처리 기술개발 674
19) 대형 브레이커 실린더부품의 품질 고도화를 위한 5톤급 진공침탄 열처리 기술개발 676
20) 1% 이하 초저변형 중장비용 대형 주행감속 베어링의 고효율 단조 성형 및 열처리
공정 기술개발 678
2-2. 3D프린팅(적층제조) 기술 분야 680
1) 3D프린팅 특화 설계 기반 구리(Cu) 소재 금속부품 제조 기술 개발 680
2) 3D프린팅 특화설계 기반 우주 발사체 엔진 내열 부품 제조 기술 681
3) 티타늄 소재 특수부품 고속/유연 생산을 위한 금속 와이어 3D프린팅 융합 실증기술 682
4) 친환경 소재 적용 및 유해물질 방출 저감을 위한 3D프린팅 융합 실증 기술 684
5) 모빌리티용 대형 플라스틱 부품 초고속 생산을 위한 3D프린팅 융합 실증 기술 685
6) 초고경도 부품 성능 강화를 위한 DED 방식의 3D프린팅 융합 실증 기술 686